Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy: GD-OES

รายละเอียด

Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy (GD-OES) เป็นเทคนิคการวิเคราะห์องค์ประกอบทางเคมีของธาตุในวัสดุ โดยการทดสอบผ่านกราฟมาตรฐาน ทำให้มีความแม่นยำในการหาปริมาณธาตุต่างๆ

นอกจากนี้ยังสามารถวิเคราะห์โปรไฟล์ขององค์ประกอบทางเคมีในชั้นฟิล์ม โดยการวัดจากผิวไปยังกลางชิ้นงานด้วยการพุ่งชนของอะตอมก๊าซอาร์กอน (sputtering) แบบชั้นต่อชั้น และยังสามารถวัดความหนาของชั้นฟิล์มได้อีกด้วย

คุณสมบัติหลัก

• Bulk Analysis (Li-U)
• Depth profile analysis (จากชั้นนาโนเมตรจนถึงไมโครเมตร)

บริการการวิเคราะห์ตัวอย่าง

• บริการวิเคราะห์: การวิเคราะห์องค์ประกอบเคมีและการวิเคราะห์โปรไฟล์ขององค์ประกอบทางเคมีในชั้นฟิล์ม
• การวิเคราะห์วัสดุ: การวิเคราะห์วัสดุทั้งที่เป็นตัวนำไฟฟ้าและไม่เป็นตัวนำไฟฟ้า (เช่น เหล็ก, โลหะผสม, เซรามิก)
• ประเภทของตัวอย่าง: ตัวอย่างต้องแห้งและมีพื้นผิวเรียบ

ข้อจำกัดในการใช้งาน

• พื้นที่การวิเคราะห์ Ø 2, 4, 7 มม.
• ขนาดตัวอย่างต้องมีขนาดมากกว่า 20 x 20 มม. (กว้าง x สูง)"